潔凈室的常見的幾種氣流方式
層流式:層流式空氣氣流運(yùn)動(dòng)成一均勻之直線型,空氣由覆蓋率100%之過濾器進(jìn)入室內(nèi),并由高
架地板或兩側(cè)隔板回風(fēng),此型式適用于潔凈室等級(jí)需定較高之環(huán)境使用,一般其潔凈室等級(jí)為
CLASS1-100。其型式可分為二種:
水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對(duì)邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng),塵埃隨風(fēng)向排出室外,
一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重。
垂直層流式:房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔凈度,在制程中
或工作人員所產(chǎn)生的塵??煽焖倥懦鍪彝舛粫?huì)影響其他工作區(qū)域。
亂流式:空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進(jìn)入潔凈室,并由潔凈室兩側(cè)隔間
墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級(jí)
1000-100,000級(jí)。
復(fù)合式:復(fù)合式為將亂流式及層流式予以符合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。我們也稱之為非單向流。
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